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Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC 分子泵進氣法蘭口VG150/ICF203/ISO160B,出氣法蘭口KF40,抽速可達到800 L/s,轉(zhuǎn)速為35000 rpm, 極限壓力1 x 10-11 Torr(1.3 x 10-11 mbar),Shimadzu TMP-803LM島津磁懸浮分子泵對應(yīng)的控制器為:Shimadzu EI-D1003M
