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新的緊湊型 EDWARDS EPX180高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180使用了獨(dú)特的專利保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7x10-5Torr的極限壓力。EPX泵系統(tǒng)在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑或密封液。這樣可以確保泵送系統(tǒng)清潔，不會(huì)因?yàn)橄到y(tǒng)的排空而使油或液體回流到系統(tǒng)中
