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廣州潽拓光電維修法國Alcatel阿爾卡特 ATH400M法磁懸浮分子泵，Alcatel ATH400M阿爾卡特分子泵進氣法蘭口DN100 ISO-K，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達到320 L/s，極限壓力8x10-9 mbar,轉速為39000rpm，阿爾卡特 ATH400MT磁懸浮分子泵保養對應的控制器為：Alcatel ACT 600M.
