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Ulvac UTM-3303FHA渦輪分子泵維修，Ulvac?磁懸浮泵保養
ULVAC采用五軸磁浮軸承和數字控制的復合翼型渦輪分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用數字控制五軸磁浮軸承，實現了***、高可靠性和節能等優點。FH系列是高背壓·高壓縮型，提高了氫壓縮比,用于輕·中間工藝，FW系列是廣域·大流量型，用于高負荷工藝和中間·硬工藝。
