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Edwards愛(ài)德華STP-301C設(shè)備泵保養(yǎng),精工精機(jī)STP-301分子泵維修，Seiko Seiki STP-301/STP-301C日本精工精機(jī)分子泵進(jìn)氣法蘭口ICF152/VG100/ISO100，出氣法蘭口KF25，抽速可達(dá)到300L/s，轉(zhuǎn)速為48000rpm，VG/ISO法蘭口極限壓力6.5x10-6Pa (5x10-8Torr)，ICF法蘭口極限壓力10-7Pa (10-9Torr)，精工精機(jī)STP-H301C分子泵對(duì)應(yīng)的控制器為：Seiko Seiki SCU-H301C
