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島津TMP-2003LM磁懸浮分子泵，島津TMP-2003LMC磁懸浮渦輪分子泵進氣法蘭口ISO250-K/VG250/ICF305，出氣法蘭口KF40，抽速可達到2000 L/s，轉速為27000 rpm，極限壓力10-9 pa，島津TMP-2003LM-3C磁懸浮分子泵保養對應的控制器為：Shimadzu EI-D2003M
