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SU-83000光刻膠3010\/3005\/3025\/3050SU-8膠光刻膠
SU-83000光刻膠3010\/3005\/3025\/3050SU-8膠光刻膠
產品價格:¥\u9762\u8bae(人民幣)
  • 規格:完善
  • 發貨地:本地至全國
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  • 最小起訂量:1
  • 免費會員
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    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:武漢邁可諾科技有限公司

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    商品詳情
      產品參數
      SU-8 3000光刻膠 3010/3005/3025/3050 SU-8膠 光刻膠 品牌邁可諾
      發貨地武漢
      產地美國
      起訂量100ml
      可售賣地全國
      型號SU83000

      概括

      SU-8 3000是一種高對比度,基于環氧的光刻膠,專為微加工和其他微電子應用中,

      需要化學和熱穩定的圖像。 SU-8 3000是SU-8和SU-8 2000的改進配方,已被廣泛采用

      由MEMS生產商使用多年。 SU-8 3000有配制用于改善附著力和降低涂層應力。

      SU-8 3000的粘度范圍允許膜厚為4至單層涂層厚度為120 μm。


      特征

      ?提高附著力

      ?降低涂層應力

      ?高縱橫比成像

      ?垂直側壁

      ?單層涂膜厚度大于100mm

      ?出色的抗干蝕刻性

      SU-8 3000抗蝕劑經過專門設計,可與MicroChem的SU-8顯影劑一起用于浸漬,噴涂或噴漿工藝。 也可以使用其他基于溶劑的顯影劑,例如乳酸乙酯和雙丙酮醇。 對于高縱橫比和/或厚膜結構,也建議強烈攪拌。 表6中給出了浸入過程的建議顯影時間。這些顯影時間是近似的,因為實際溶解速度會隨著攪拌而變化很大。

      SU-8 3000具有良好的機械性能。 但是,對于要保留成像的抗蝕劑作為最終設備一部分的應用,可以在加熱板上或對流烤箱中在150-200°C之間將抗蝕劑進行坡道/分步硬烘烤,以進一步使材料交聯。 烘烤時間根據烘烤過程的類型和膜厚的不同而不同。



      邁可諾技術有限公司

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