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技術(shù)參數(shù)

型號(hào)規(guī)格	SFT310-TA	SFT320-TA
激光波長(zhǎng)	1064
激光功率	10W	20W
激光重復(fù)頻率	20KHz~100KHz
定位精度	0.01mm
重復(fù)定位精度	0.002mm
調(diào)阻精度	0.1%
分步重復(fù)最大陶瓷基片	170mm×170mm
工作電源	220V/50Hz/1KVA

晶圓薄膜電阻修調(diào)機(jī)性能
•自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，整機(jī)性能達(dá)到國(guó)際水平。
•采用專用花崗巖臺(tái)座，可有效減小工作臺(tái)啟動(dòng)、停止和加速過(guò)程產(chǎn)生的慣性震動(dòng)；同時(shí)可保持機(jī)臺(tái)溫度的穩(wěn)定性。
•獨(dú)特的軟件控制方式，在保證精度的前提下?lián)碛泻芨叩恼{(diào)阻速度，大大提高產(chǎn)能。
•強(qiáng)大的軟件編程功能，能分別對(duì)激光功率、運(yùn)動(dòng)、測(cè)量、探針運(yùn)動(dòng)等進(jìn)行編程自動(dòng)化控制，大大提高了激光調(diào)阻機(jī)的應(yīng)用范圍。
•激光電光轉(zhuǎn)換效率為30%，風(fēng)冷，日均耗電不到10度，是閃光燈泵浦固體激光器的1/10，長(zhǎng)期使用可為用戶節(jié)省大量的能耗支出，減少碳排放，使用壽命長(zhǎng)，性能穩(wěn)定免維護(hù)，減少停機(jī)時(shí)間。