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技術參數

型號規格	SFT310-TA	SFT320-TA
激光波長	1064
激光功率	10W	20W
激光重復頻率	20KHz~100KHz
定位精度	0.01mm
重復定位精度	0.002mm
調阻精度	0.1%
分步重復最大陶瓷基片	170mm×170mm
工作電源	220V/50Hz/1KVA

晶圓薄膜電阻修調機性能
•自主知識產權，整機性能達到國際水平。
•采用專用花崗巖臺座，可有效減小工作臺啟動、停止和加速過程產生的慣性震動；同時可保持機臺溫度的穩定性。
•獨特的軟件控制方式，在保證精度的前提下擁有很高的調阻速度，大大提高產能。
•強大的軟件編程功能，能分別對激光功率、運動、測量、探針運動等進行編程自動化控制，大大提高了激光調阻機的應用范圍。
•激光電光轉換效率為30%，風冷，日均耗電不到10度，是閃光燈泵浦固體激光器的1/10，長期使用可為用戶節省大量的能耗支出，減少碳排放，使用壽命長，性能穩定免維護，減少停機時間。