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SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻機(jī)/激光修阻機(jī)/激光調(diào)阻機(jī)

激光調(diào)阻機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn)：

調(diào)阻精度高：先進(jìn)的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束；四線制高速測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量時(shí)間僅為25us；擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補(bǔ)償功能；　

調(diào)阻速度快：先進(jìn)的激光器擁有極高的重復(fù)頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度；德國進(jìn)口掃描振鏡，掃描速度極快；高精度分步重復(fù)機(jī)構(gòu)，空氣軸承，移動(dòng)速度及加速度快；　

可靠性高：整機(jī)配置核心器件均采用原裝進(jìn)口配置；采用花崗巖臺(tái)座，穩(wěn)定可靠；　

功能強(qiáng)大：擁有溫度實(shí)時(shí)補(bǔ)償功能；同時(shí)具有激光劃片和打標(biāo)功能；　

運(yùn)行及維護(hù)成本低廉：采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長，性能穩(wěn)定；電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本；采用風(fēng)冷系統(tǒng)，無須外置冷卻設(shè)備；操作簡(jiǎn)單，無須高額培訓(xùn)成本；　

激光調(diào)阻機(jī)技術(shù)參數(shù)：　

激光器系統(tǒng)：　

激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器　

激光波長：1064/532/355nm　

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)　

激光頻率：200Hz-50KHz　

典型光斑尺寸：30μm　

實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達(dá)12μm　

泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時(shí)　

冷卻方式：風(fēng)冷　

對(duì)焦方式：計(jì)算機(jī)程序控制　

激光束定位系統(tǒng)：　

激光束運(yùn)動(dòng)范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）　

點(diǎn)到點(diǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)間：5ms（典型）　

最大速度：7000mm/s　

重復(fù)定位精度：2.5μm　

激光束最小步進(jìn)：0.76μm　

圖像監(jiān)視系統(tǒng)：　

監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視　

最大放大倍數(shù)：>100倍　

圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶　

測(cè)量系統(tǒng)：　

激勵(lì)方式：電流/電壓激勵(lì)　

恒流源：0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇　

恒壓源：0~20V計(jì)算機(jī)程控選擇（可選其它電壓范圍）　

電阻測(cè)量方式：四線制加電流測(cè)電壓　

直流電壓測(cè)量：10mV~10V（滿程電壓）　

調(diào)節(jié)對(duì)象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定　

電阻測(cè)量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）     　

中阻：<0.05%　

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）　

電阻測(cè)量范圍：0.01Ω-500MΩ　

電阻測(cè)量速度：25μs　

直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）　

探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）　

探針板運(yùn)動(dòng)：計(jì)算機(jī)程序控制　

計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng)：　

工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（雙核），17寸液晶　

操作系統(tǒng)：Windows XP　

VB平臺(tái)開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強(qiáng)大　

分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)：　

運(yùn)動(dòng)XY范圍：290x260mm　

運(yùn)動(dòng)分辨率：1μm　

定位精度：小于6μm（帶誤差補(bǔ)償）　

重復(fù)定位精度：小于3μm   　

最大運(yùn)動(dòng)速度：900mm/s　

具有溫度補(bǔ)償?shù)裙δ?/FONT>