L481111/RZQ立式真空燒結(jié)退火爐
該真空燒結(jié)退火爐是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和磁性材料燒結(jié)、退火工序中的重要設(shè)備。
主要技術(shù)指標(biāo)：
1、工作溫度：400～1250℃
2、單點(diǎn)溫度控制精度≤±1℃/24h
3、恒溫區(qū)長(zhǎng)度：≥200mm/±1℃
4、升溫功率：≤5KVA
5、升溫時(shí)間：（室溫至1050℃)≤75min
6、保溫功率：≤3KVA
7、重新定值重復(fù)性：≤±1℃
8、重開機(jī)重復(fù)性：≤±1℃
冷態(tài)真空度：≤5 x 10-3Pa（打開擴(kuò)散泵門后15min）
9、爐體傳動(dòng)升降分：自動(dòng)及點(diǎn)動(dòng)，速度無級(jí)調(diào)速，自動(dòng)燒結(jié)燒結(jié)為0～30min
10、真空室尺寸：φ80㎜～φ300mm
11、設(shè)備外形尺寸：1703 x 703 x 2450 (mm)(長(zhǎng) x 寬 x 高）
12、重量：約600Kg
13、工作條件：
(1)環(huán)境溫度：10～45℃
(2)相對(duì)濕度：≤85%
(3)電網(wǎng)電壓：220V ± 10% ～ 380V
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