L481111/RZQ立式真空燒結(jié)退火爐
該真空燒結(jié)退火爐是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和磁性材料燒結(jié)、退火工序中的重要設(shè)備。
主要技術(shù)指標：
1、工作溫度：400～1250℃
2、單點溫度控制精度≤±1℃/24h
3、恒溫區(qū)長度：≥200mm/±1℃
4、升溫功率：≤5KVA
5、升溫時間：（室溫至1050℃)≤75min
6、保溫功率：≤3KVA
7、重新定值重復(fù)性：≤±1℃
8、重開機重復(fù)性：≤±1℃
冷態(tài)真空度：≤5 x 10-3Pa（打開擴散泵門后15min）
9、爐體傳動升降分：自動及點動，速度無級調(diào)速，自動燒結(jié)燒結(jié)為0～30min
10、真空室尺寸：φ80㎜～φ300mm
11、設(shè)備外形尺寸：1703 x 703 x 2450 (mm)(長 x 寬 x 高）
12、重量：約600Kg
13、工作條件：(1)環(huán)境溫度：10～45℃
(2)相對濕度：≤85%
(3)電網(wǎng)電壓：220V ± 10% ～ 380V
立式真空燒結(jié)爐、單、雙管臥式真空燒結(jié)爐、壓力燒結(jié)爐、陶瓷燒結(jié)爐、鏈（帶）式燒結(jié)爐、全功能微控擴散系統(tǒng)、真空擴散爐、高溫擴散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結(jié)爐、雙工位立式真空燒結(jié)爐、陶瓷金屬化氫氣燒結(jié)爐、馬弗爐、消磁爐、WDNI系列高精度電腦溫度控制系統(tǒng)、WDNX多功能溫度控制系統(tǒng)、全鉭玻璃絕緣子熔封爐、PFJ-2型平行縫焊機、Y80-2/ RZQ加壓檢漏臺、熱穩(wěn)態(tài)壓力機、時效爐
