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能在金屬,半導體,絕緣體甚至塑料,紙張,織物表面上沉積金屬,半導體,絕緣體,不同成分比的合金,化合物及部分有機聚合物等的薄膜,其適用范圍之廣是其他方法無法與之比擬的;可以不同的沉積速度,不同于基板溫度和不同的蒸汽分子入射角蒸鍍成膜,因而可得到不同顯激結構和結晶形態(單晶,多晶或非晶體等)的薄膜;
薄膜的純度很高;
易于在線檢測和控制薄膜的厚度與成分。厚度控制精度最高可達單分子層量級;
排出污染物很少且基本上沒有。