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電漿的產生是利用直流、交流、射頻或微波能源的方式，在適當的低壓狀態（約100mTorr至1Torr(1atm=760Torr)及密閉空間通以電源（12ev)，將通入密閉空間之氣體離子化，產生氣態之粒子；利用離子化之粒子及借由極板所提供之電場，加速粒子間之撞擊作用。而經由撞擊產生之二次電子與通入密閉空間之氣態粒子，尤其是不帶電荷的氣體分子及原子團再次發生撞擊。在撞擊之間便產生了電漿及火光。而經由撞擊之電子與粒子相結合而變成原子團。