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德國MLase準分子激光器MLI-500，ArF、KrF光源光刻機專用激光器
MLI 系列由具有直接波長的準分子激光器組成，適用于工業(yè)應用。當然，我們可以調(diào)整我們的基本設備以滿足您的個性化需求。
MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 準分子激光器是波長為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的脈沖重復頻率。
它們是市場上使用壽命最長、可靠性、運營成本低的獨立設備。它們均勻的鋼型材和能量穩(wěn)定性使它們非常適合要求苛刻的應用。
我們的LC準分子激光系統(tǒng)還能夠進行主動水冷卻（使用生活用水或外部熱交換器；無需純凈水），以實現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運行。
常用型號：
MLI-200
MLI-500
MLI-1000
參數(shù)介紹：
|
參數(shù) |
ArF |
ArF |
ArF |
KrF |
KrF |
KrF |
|
波長（納米） |
193 |
193 |
193 |
248 |
248 |
248 |
|
脈沖重復頻率（赫茲） |
200 |
500 |
1000 |
200 |
500 |
1000 |
|
穩(wěn)定的脈沖能量 （mJ） |
6 |
6 |
6 |
10 |
10 |
10 |
|
穩(wěn)定平均功率 （W） |
1,2 |
3,0 |
6,0 |
2,0 |
5,0 |
10 |
|
脈沖穩(wěn)定性（標準偏差%） |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
|
光束寬度（FWHM，VxHmm） |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
|
光束發(fā)散（FWHM，VxHmm） |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
|
脈沖長度 |
5-10 |
5-10 |
5-10 |
5-15 |
5-15 |
5-15 |
德國MLase準分子激光器MLI-500，ArF、KrF光源光刻機專用激光器
