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探針臺

BD系列高精度探針臺顯微鏡操控規格:

●   在探針臺右側有大搖桿，提起90度后，可以使顯微鏡快速傾仰抬起，方便在測試時更換物鏡鏡頭
●   顯微鏡后側有X/Y軸調節小搖輪，可調節顯微鏡在x-y方向的移動，移動范圍2"X2"，精度1μm
●   顯微鏡Z軸帶有調焦粗旋鈕和細旋鈕，粗旋鈕方便快速調焦,細旋鈕方便精確調焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm
BD系列高精度探針臺臺面規格:

●  探針臺臺面平整度：5μm
●  探針臺左側有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重選擇
●  探針臺右上方有轉輪搖桿，搖動時可使臺面線性上下升降，升降范圍25mm，精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的復位
卡盤（載物臺，即圖中的chuck）規格:
●  6" 卡盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑250μm-1mm（可根據客戶需求定制孔徑大�。�，zui小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，zui大能夠吸住尺寸為6"X6"
●  卡盤可360度旋轉，旋轉角度可微調，微調精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕
●  卡盤X，Y軸調節旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為6"X6"，移動精度為1μm，為方便點測的穩定性，帶有鎖住功能。如果點測6"wafer的時候，可以保證6"wafer的每一點都能夠點測到

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