pi-P-313 PicoCube XY(Z) 壓電掃描器
皮米精度，高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
用于 AFM / SPM 的高線性掃描儀
高達 20 皮米的分辨率，滯后 <1 nm
閉環驅動概念帶來的帶寬
用于生物技術/納米技術的分辨率操作工具
共振頻率 4.0 kHz (X, Y), 11 kHz (Z)
行程范圍 1 μm × 1 μm × 0.6 μm
pi-P-313 PicoCube XY(Z) 壓電掃描器
應用領域
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描篩選
平行運動實現高動態多軸操作
在平行運動多軸系統中，所有執行器都作用在一個公共平臺上。小的慣性和所有軸的相同設計允許快速、動態且精確的運動。
零間隙撓性導軌實現高導向精度
撓性導軌免維護、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動不。它們 真空兼容，可在很寬的溫度范圍內工作。
pi-P-313 PicoCube XY(Z) 壓電掃描器
