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低溫等離子滅菌器是在密封容器形成的滅菌室，根據預設條件和特定的滅菌設備，激發產生輝光放電，形成低溫等離子體。再以過氧化氫作介質，過氧化氫等離子體中含有氫氧自由基，過羥自由基，活性氧原子，活性氫原子等活性成分，這些活性離子以及豐富的紫外線具有很高的熱動能，從而進一步提高與微生物蛋白質和核酸物質的作用效能，在短時間內使微生物滅亡，達到滅菌的效果。

? ? 低溫等離子過氧化氫滅菌系統主要是基于等離子的固有特性，在低溫和真空的狀態下，通過高頻電場作用，使滅菌容器艙內形成均勻的等離子場，等離子體在形成過程中，會產生大量的紫外線，紫外線則能直接破壞微生物的基因物質，打破微生物分子的化學鍵，生成揮發性的化合物。通過等離子體的蝕刻作用，等離子中活性物質與微生物體內的蛋氫質和核酸發生化學反應，能夠摧毀微生物和擾亂微生物的生存功能。然后注入過氧化氫為滅菌劑，在滅菌艙內霧化彌漫。過氧化氫在此作用中將會有離子化分解反應，并作用中將會有離子化分解反應，并作用于微生物之細胞，破壞其生命，進一步對微生物實施殺滅。滅菌完成后分解成水分子及氧分子，無D害物質殘留，不需通風和排水，安全而環保。

? ? 用戶可以通過合理的應用低溫等離子滅菌器，不但可減輕醫護人員面對工作危害及環境污染的負擔，同時也可為醫療機構節約大量的滅菌成本。另外，低溫等離子滅菌器還能廣泛的應用于對濕熱M感的精密醫療器材的滅菌。雖說，可應用在醫療行業中的滅菌器，除了低溫等離子滅菌器外，還有其它種類的滅菌器。但低溫等離子滅菌器與其它滅菌器相比，還是具備一定的優勢，也正是憑借著這些優點，低溫等離子滅菌器才能在市場上得到廣泛應用。