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P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺，P-620.2 – P-629.2 PI HeraXY向壓電工作臺

§ 行程為501800微米

§ 分辨率達0.1納米

§ 定位精度 0.02 %

§ 帶電容式傳感器的直接計量

§ X、XY、Z和XYZ型

應用領域

§ 干涉測量

§ 顯微鏡

§ 納米定位

§ 生物技術

§ 測試程序和質量保證

§ 光子

§ 光纖定位

§ 半導體技術

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現的重復精度、優異的穩定性和剛性 、快速響應控制。

訂購信息

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-620.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-621.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-622.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-625.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-628.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-629.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-620.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-621.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-622.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-625.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-628.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-629.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

不帶位置傳感器的線性定位器

P-620.20L 精密PIHera XY向納米定位系統，60微米 × 60微米，不帶傳感器，LEMO連接器 P-621.20L 精密PIHera XY向納米定位系統，120微米 × 120微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-622.20L 精密PIHera XY向納米定位系統，300微米 × 300微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-625.20L 精密PIHera XY向納米定位系統，600微米 × 600微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-628.20L 精密PIHera XY向納米定位系統，1000微米 × 1000微米，不帶傳感器，LEMO連接器 17.05.2018

P-629.20L 精密PIHera XY向納米定位系統，1800微米 × 1800微米，不帶傳感器，LEMO連接器 線性定位器，真空兼容達10-9百帕

P-620.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-621.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-622.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-625.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-628.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-629.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

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