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P-541.2 ? P-542.2 XY壓電工作臺
PI (Physik InstrumenteP-541.2 ? P-542.2 壓電工作臺，P-541.2 ? P-542.2 XY壓電工作臺
§ 低外形、易于集成：16.5毫米
§ 孔徑為80 毫米 × 80 毫米
§ 行程達200 微米 × 200 微米
§ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的 多軸精度
§ 高動態直接驅動版本
§ 傳感器技術：價格實惠的應變片傳感器 或可實現更高性能的電容式傳感器
§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命
§ 可與顯微鏡平臺組合實現更長行程
應用領域
§ 掃描顯微鏡
§ 高吞吐量顯微鏡
§ 超分辨率顯微鏡
§ 掩模/晶圓定位
§ 干涉測量
§ 測量技術
§ 生物技術
§ 顯微操縱
PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。
帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。
零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。
直接位置測量帶來精度
運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現的重復精度、優異的穩定性和剛性 、快速響應控制。
訂購信息
P-541.2DD 帶大孔徑的XY向納米定位系統，高動態直接驅動，45 微米 × 45微米，并聯運動，電容傳感器，Sub-D連接器
P-541.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，并聯運動，電容傳感器，Sub-D連接器
P-541.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，并聯運動，電容傳感器，LEMO連接器
P-542.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統，200 微米 × 200微米，并聯運動，電容傳感器，Sub-D連接器
P-542.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統，200 微米 × 200微米，并聯運動，電容傳感器，LEMO連接器
P-541.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，應變片傳感器，LEMO連接器
P-542.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統，200 微米 × 200微米，應變片傳感器，LEMO連接器
P-541.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，不帶傳感器，LEMO連接器
P-542.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統，200 微米 × 200微米，不帶傳感器，LEMO連接器 配件
P-542.PD1 用于P-54x納米定位系統的培養皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x納米定位系統的顯微鏡載片支架
PI (Physik InstrumenteP-541.2 ? P-542.2 壓電工作臺
