新聞:廈門(mén)實(shí)驗(yàn)室氣路維護(hù)通風(fēng)櫥氣路安裝管線驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
近期，長(zhǎng)江存儲(chǔ)和中科院微電子研究所聯(lián)合承擔(dān)的3DNANDFlash存儲(chǔ)器研發(fā)項(xiàng)目取得新進(jìn)展，向產(chǎn)業(yè)化道路邁出關(guān)鍵一步。業(yè)內(nèi)人士表示，國(guó)內(nèi)廠商積極開(kāi)展存儲(chǔ)芯片相關(guān)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化工作，并取得了階段性進(jìn)展。政策支持之下，隨著技術(shù)等逐漸成熟，行業(yè)發(fā)展將迎來(lái)拐點(diǎn)。在此背景下，上市公司紛紛發(fā)力拓展存儲(chǔ)芯片業(yè)務(wù)。基本依賴(lài)進(jìn)口存儲(chǔ)芯片作為集成電路的三大品類(lèi)之一，目前廣泛應(yīng)用于內(nèi)存、消費(fèi)電子、智能終端和固態(tài)存儲(chǔ)硬盤(pán)等領(lǐng)域，其銷(xiāo)售額占整個(gè)芯片產(chǎn)業(yè)的比重超過(guò)25%，反映了一個(gè)或地區(qū)的半導(dǎo)體發(fā)展水平。
實(shí)驗(yàn)室供氣方式是采用將氣瓶安置在儀器設(shè)備的旁邊，危險(xiǎn)氣體的氣瓶放置在氣瓶柜內(nèi)。排氣采用直接排放到實(shí)驗(yàn)室或是通過(guò)簡(jiǎn)易的管道排放到窗外。在實(shí)驗(yàn)室的發(fā)展過(guò)程中，隨著實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的增加，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)經(jīng)常是密布著各種各樣的管道和氣瓶。這樣處理既造成了非常大的安全隱患，也不美觀。
實(shí)驗(yàn)室的很多設(shè)備的運(yùn)行都需要各種各樣的氣體供應(yīng)，同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生廢氣。如何既安全又方便地解決供排氣問(wèn)題，也是一直以來(lái)困擾實(shí)驗(yàn)室工作人員的問(wèn)題之一。
正確的實(shí)驗(yàn)室供排氣的解決方案是把實(shí)驗(yàn)室的供排氣看作一個(gè)系統(tǒng)。這個(gè)系統(tǒng)要考慮到安全性、便利性、日常實(shí)驗(yàn)室的管理、氣瓶的更換等問(wèn)題，同時(shí)要重點(diǎn)考慮實(shí)驗(yàn)室今后的發(fā)展，對(duì)于特殊氣體還要考慮特殊的技術(shù)解決方案。
（一）設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)
1、《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》［GB50316-2000（2008版）］；
2、《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》（GB50235-1997）；
3、《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》（GB50236-1998）；
4、《乙炔站設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50031-1991）；
5、《氫氧站設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50177-2005）；
6、《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50030-1991）；
7、《壓縮空氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50029-2003）；
8、《深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》（GB16912-2008）。
（二）技術(shù)要求
1、氣瓶間：
①氣瓶間應(yīng)采用300mm厚實(shí)體墻，安裝防爆門(mén)，設(shè)置泄爆窗；
②室內(nèi)電器設(shè)備均應(yīng)具備防爆功能；
③室應(yīng)安裝排氣扇，時(shí)刻保持良好的通風(fēng)狀態(tài)；
2、供氣系統(tǒng)要求采用兩級(jí)減壓的方式進(jìn)行供氣，供氣匯流排次減壓，氣體由15Mpa減壓到1.5Mpa以下，再輸送到各用氣實(shí)驗(yàn)室，二級(jí)減壓器安裝在各用氣實(shí)驗(yàn)室或用氣點(diǎn)，方便統(tǒng)一控制通風(fēng)柜或儀器用氣的輸入壓力，用氣終端配有中壓球閥和壓力指示表，二級(jí)減壓器對(duì)壓力進(jìn)行調(diào)整(0.01Mpa)，得到穩(wěn)定的壓力，可以滿(mǎn)足儀器對(duì)不同使用壓力的要求，一、二級(jí)減壓器均配有壓力表，可實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前壓力；
3、采用雙側(cè)匯流排半自動(dòng)方式不間斷供氣，充分滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)室的使用要求，更換氣瓶時(shí)，可通過(guò)安裝在高壓軟管下面的卡套進(jìn)行氣瓶更換；
4、氫氣和乙炔屬于易燃?xì)怏w，應(yīng)設(shè)計(jì)氣體泄露探測(cè)報(bào)警裝置，并安裝阻火器，防止明火回流，易燃與助燃?xì)怏w敷設(shè)應(yīng)保證足夠的安全距離。
新聞:廈門(mén)實(shí)驗(yàn)室氣路維護(hù)通風(fēng)櫥氣路安裝管線驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
數(shù)據(jù)顯示，賽迪智庫(kù)集成電路研究所所長(zhǎng)霍雨濤表示，國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)芯片已經(jīng)取得了一些進(jìn)展，但總體看仍處于起步階段。無(wú)論是DRAM還是NANDFlash等領(lǐng)域，核心技術(shù)、專(zhuān)利等仍主要掌握在三星、東芝、SK海力士、美光、SanDisk、Intel等海外廠商手中。霍雨濤認(rèn)為，國(guó)產(chǎn)存儲(chǔ)芯片要想取得更大的進(jìn)展，需要合理規(guī)劃和統(tǒng)籌布局，做好長(zhǎng)期持續(xù)大投入的準(zhǔn)備；要聚焦核心技術(shù)和人才，立足自主研發(fā)，完善產(chǎn)業(yè)生態(tài)；要抓住計(jì)算和存儲(chǔ)產(chǎn)業(yè)深度融合帶來(lái)的機(jī)遇。
（三）工程用材
1、管道、球閥、卡套和三通等為316L不銹鋼，減壓器為高純氣體減壓器（不銹鋼閥芯），高壓軟管（連接鋼瓶和匯流排）為不銹鋼波紋管，在高壓軟管的進(jìn)氣端，配置單向閥，可以防止更換鋼瓶時(shí)，軟管內(nèi)的氣體外泄，同時(shí)避免外界的空氣混入氣路之中；
2、管道系統(tǒng)：所有的氣體管道選用BA級(jí)別的316L不銹鋼管，在管路上有個(gè)過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，使氣體在流通過(guò)程中不至于被管道系統(tǒng)污染，保證氣體的純度，同時(shí)要有明確標(biāo)示，指示氣體的流向；
3、管道的連接：匯流排、終端部分采用卡套連接，便于減壓器和閥門(mén)的維護(hù)管理；
4、終端：在每臺(tái)儀器之前，配置截止閥和二級(jí)減壓器（每種氣體配置一個(gè)）。截止閥用于控制每一個(gè)氣路的開(kāi)啟與關(guān)閉；在儀器需要調(diào)整和維修時(shí)，能停止任何的儀器的氣體供應(yīng)，減壓器用于顯示和調(diào)整終端的壓力。
（四）其它
1、氣體管路每間隔1.5m采用管碼支架固定，并根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設(shè)置合適的支架位置；
2、整個(gè)管路安裝完畢后，對(duì)整個(gè)系統(tǒng)做壓力測(cè)試。參照《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》，管路系統(tǒng)在保壓24小時(shí)后，壓力無(wú)下降為合格。
新聞:廈門(mén)實(shí)驗(yàn)室氣路維護(hù)通風(fēng)櫥氣路安裝管線驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
鼓勵(lì)有條件的高校、院所和企業(yè)建設(shè)智能制造實(shí)訓(xùn)基地，培養(yǎng)滿(mǎn)足智能制造發(fā)展需求的高素質(zhì)技術(shù)技能人才。鼓勵(lì)企業(yè)和各級(jí)院校打造技術(shù)技能人才培養(yǎng)的“雙元制”體系。建立智能制造人才需求預(yù)測(cè)和信息服務(wù)平臺(tái)。（四）協(xié)同推進(jìn)智能制造發(fā)展一是發(fā)揮制造強(qiáng)國(guó)建設(shè)領(lǐng)導(dǎo)小組、各級(jí)經(jīng)信主管部門(mén)的作用，有效統(tǒng)籌、地方和其他社會(huì)資源，協(xié)調(diào)解決智能制造發(fā)展中遇到的問(wèn)題，分類(lèi)、分層指導(dǎo)，分行業(yè)、分步驟持續(xù)推進(jìn)，形成資源共享、協(xié)同推進(jìn)的工作格局。
