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尼康金相顯微鏡

集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到新的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

最大觀察樣品:

ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

使用CFI60光學系統，徹底消除耀斑影響，對比度更高，成象更加清晰、明亮；

物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數值孔徑和長工作距離兩方面的要求；

主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

光亮調節、孔徑調節、物鏡轉換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產生疲勞； 
 

尼康L300N/L300ND金相顯微鏡主要特點

? 專為300mm晶圓和光罩檢測 

? 利用更高的分辨率，對比度和透射CFI60光學系統 

? 更高的亮度比傳統的顯微鏡 

? 新光源和四次美好的透射照明，先進的光學設計結果 

?預中心的燈箱提供更高的亮度，同時僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦 

? 電動物鏡轉換器比傳統模式更耐用三倍

 應用 ? 晶圓 ? 液晶顯示器 ? 其他各種檢查

 兩種機型可供選擇： 

?  L300N：Episcopic照明類型 

最大樣品尺寸：300mm晶圓 

第一階段行程：354 x302毫米 

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標而定） 

?  L300ND：透射/ Episcopic照明類型 

最大樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD） 

第一階段行程：354 x302毫米（透射照明范圍：354 x268毫米）

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標而定）

 各種各樣的觀測技術 

各種各樣的觀測技術，如明場，暗場，簡單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。 采用Epi - flourescence觀察，紫外激發可應用于包括300mm晶圓和OLED檢查應用。

 暗場觀察 

新開發的暗場照明光學顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內樣品的劃痕和拓樸的檢測能力。

 明場觀察 

尼康CFI60系統 - 一個成功合并的CF光學系統無限遠光學 - 高亮度，高對比度的圖像。

 Nomarski DIC的觀測 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過簡單地插入物鏡轉換器單Nomarski棱鏡。  DIC的圖像清晰和與最小的色調明快，即使在低放大倍率。 高對比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。

 半兼容設計 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡符合半導體設備和材料協會（SEMI）為安全準則（S7 - 0703）和人體工程學（S8 - 1103）。 由于目鏡的位置更貼近運營商，不觸摸階段的運營商，即使是他或她的走向，確保安全，舒適地觀看。

 防靜電更強有力的保障 

靜電放電涂料已應用于身體的階段，鏡筒（L2 - TT2型），及各種控制。 這加強了防止污染的保障，并避免損壞由靜電引起的樣品，從而有利于單產提高。

 固定位置的XY控制 

 XY精運動控制仍然接近運營商在相同的位置，使其不必要的運營商，以延長他或她的手臂，移動舞臺。 因為移動的標本和重點，可以進行一個手擱在桌子上，操作者可以重點觀察。

 簡單的訪問控制 

主要控制旋鈕和按鈕都位于前面的基礎，允許快速，操作簡便，同時觀看樣品，并盡量減少在漫長的觀測疲勞。

 對焦目標 

重點目標輕松地移動和光路允許在低對比度的樣品，如裸晶圓容易對焦。

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上海富萊光學科技有限公司