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全氟橡膠 FFPM(Perfluoroelastomer) 優點：

· 最佳耐熱特性

· 優異的抗化學特性

· 低Outgassing 特性

· 優異之抗Plasma特性

缺點：

· 耐低溫特性較差

· 原料價格較高

· 生產難度較高

適用范圍:

· 全氟系列產品廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。

硅氟橡膠

　　氟橡膠（FKM，FPM）分子式

　　（一） 分子結構

　　CF3

　　—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) A—Type

　　CF3

　　—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 ) B—Type/ F —Type

　　CF3

　　—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 )CSM G—Type

　　OCF3

　　—(CF2—CF ) ( CH2—CH2) (CF2—CF2 ) ETP

　　—(CF2—CF2 )( CH2—CH) TFE/P

　　‖

　　C H3

有關進口氟膠O型圈的注意事項

氟橡膠的主要特性是耐高溫和耐化學腐蝕，并有很好的抗老化和抗臭氧的性能，且滲氣度也非常低。即使在非常惡劣的工作條件下，仍然有非常好的耐磨性。氟橡膠能承受+200度或以下的工作溫度，也能允許短時間無油情況下的運行。

氟橡膠可以抵抗油、液壓油、燃油、潤滑劑、無機酸、脂族烴和芳族烴等，但在有酯、醚、酮、某些胺和高溫的氟水氫等化合物的情況下，不應使用氟橡膠。

在正常工作條件和工作溫度在+200度以下，氟橡膠是非常穩定和無害的。但遇到300度以上高溫時，如氣割槍的火焰，氟橡膠會釋放出有害的氣體。吸入這些氣體或進入眼睛會對人體健康造成損害。

氟橡膠密封圈一旦被加熱到300度以上的高溫，即使在冷卻后處理也會有危險，因此絕不可直接對皮膚的任何接觸