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FFU（Fan Filter Unit）是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環風所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU系統具有設計施工簡便，風速調節靈活，潔凈區易于變更等特點，因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一。是一個自帶送風機（無殼風機）的高效過濾器送風口，它與其專用龍骨系統（Ceiling Grid）、冷卻盤管（一般為干盤管）、加壓風機、新風系統以及專用燈具共同組成了FFU系統。FFU的使用方式是,新風有新風空調機處理至所需狀態點后送入,在靜壓箱內與回風混合后經FFU的風機加壓后經HEPA或ULPA送入室內,再經架空地板或側墻回至干盤管,在此經冷(熱)處理后經由回壓機送回至靜壓箱完成循環。這樣的系統最為常用于有超靜要求的潔凈室，如大型集成電路晶圓的制造、尖端顯示器如TFT、PDP等的制造、硬盤的制造等。
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