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”半導體設備不僅要能做出非常精細的加工，重要的是均勻性、性、重復性、可靠性、潔凈性。他指出，等離子體刻蝕已刻出人頭直徑幾千分之一到上萬分之一的細孔，孔直徑的準確度、均勻性和重復性已可達到頭的幾萬到10萬分之一。
