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CKD喜開理 發(fā)生器系統(tǒng) VSN?VSNM
發(fā)生器單元（10.3mm寬）
型號
VSN?VSNM
實現(xiàn)高速且穩(wěn)定響應(yīng)性的小型發(fā)生器單元。
小型、輕量，尤其實現(xiàn)了高度尺寸的緊湊化。
【噴嘴直徑】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5
行業(yè)
半導(dǎo)體制造工序（后工序）
【小型、輕量】
最適用于安裝空間有限的客戶。
產(chǎn)品高度緊湊化。
【高速且穩(wěn)定的響應(yīng)性】
主閥采用直動閥，實現(xiàn)高速且穩(wěn)定的響應(yīng)性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)
【4種壓力傳感器】
壓力傳感器備有4種模擬輸出類型。