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CKD喜開理 流量傳感器?控制器 FSM3
流量傳感器?控制器
小型流量傳感器 RAPIFLOW®
型號
FSM3
【NEW】追加耐環境規格(IP65)
1個FSM3能夠對應空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳和混合氣的5種氣體。
行業
保護氣體
半導體制造工序（后工序）
氮氣清洗關聯元件
【NEW】追加耐環境規格(IP65)
追加了即使在有塵埃的環境、維護時和清掃時濺到水滴也可
以放心使用的防護等級IP65型。
選擇項也可對應歐洲防爆指令(ATEX)。
【不銹鋼閥體型】
NEW：流量范圍：擴大到1000?。
1個FSM3能夠對應空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳和混合氣的5種氣體。
氧氣專用的禁油規格也有。
JXR接頭型，2種雙卡套接頭型的2種街頭和螺紋旋入式的共3種可選擇。
【樹脂閥體型】
1個FSM3能夠對應空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳和混合氣的5種氣體。
接頭快插式彎管、快插式直管、螺紋旋入式彎管、螺紋旋入式直管的4種可選擇。
2通閥可直接連接，能節省空間。可調整流量的針閥于針閥一體型也更能節省空間。
【高精度?高響應】
壓力損失因再設計流路而比舊型減少最大50%。
流向可選單向（正向和逆向的2種）和雙向的3種類。
響應時間：50msec
【IO-Link可實現工廠自動化】
IO-Link對應。
傳送參數和其他活動數據，可預測保全。
適用于檢查漏氣和空氣消耗量。