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天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷INTELLIDRIVES開放式 XY 旋轉平臺XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
產品型號：XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
產品介紹
集成系統將線性或 XY 平臺與轉臺相結合，提供交鑰匙解決方案。 平臺可配備直接驅動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。
性能特點
開放式 XY 旋轉平臺設計用于半導體制造行業中的晶圓處理和許多其他自動化定位應用。 位于單元側面的 XY 驅動機構和大型中心通孔轉臺提供了清晰通暢的晶圓訪問。
技術參數
XY臺：XY-OF-UL-200x200
旋轉臺：ACR-160UT
電機類型：無刷伺服電機/編碼器（標準）
直線伺服電機（選件）
XY行程：200 x 200 mm
中心孔徑：直徑160 mm
分辨率（線性）：1 micron（注 1,2）
2.5 micron（注3）
分辨率（旋轉）：1.4 arc-sec
重復性（線性）：5 micron（注3）
1 micron（注 1,2）
重復性（旋轉）： 2 arc-sec
速度：400mm/sec（注 3）
800mm/sec（注2）
負載重量： 30 kg
載物臺重量：16 kg
（注1）帶線性編碼器（可選）
（注2）直線伺服電機（可選）
（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導程，無刷伺服驅動
產品尺寸
天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立，坐落于渤海之濱天津，地理位置得天獨厚，交通運輸便利，進出口貿易發達。憑借著歐洲的采購中心，我們始終為客戶提供歐美工業技術、高新科技等發達國的光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業自動化控制設備產品，同時擁有多個品牌的授權經銷和代理權。
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