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上架日期： 2022年7月4日瀏覽量： 451次

美國(guó)ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器山西總經(jīng)銷 ALICAT質(zhì)量流量控制器說明書調(diào)試安裝

產(chǎn)品價(jià)格：￥7980（人民幣）

規(guī)格：MC-500SCCM-D

發(fā)貨地：北京

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最小起訂量：1臺(tái)

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北京芯笙微納電子科技有限公司

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會(huì)員級(jí)別：試用會(huì)員

認(rèn)證類型：企業(yè)認(rèn)證

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認(rèn)證信息：北京芯笙微納電子科技有限公司

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商品詳情

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可靠。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器絕不會(huì)讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時(shí)仍像第一天一樣。
靈敏。您不會(huì)再因?yàn)閴毫Ψ逯刀鴼Я艘徽臁ASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的控制速度和閥門調(diào)節(jié)，能帶給用戶的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。
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美國(guó)ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器山西總經(jīng)銷 ALICAT質(zhì)量流量控制器說明書調(diào)試安裝性能

可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
可重復(fù)性：0.5%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
預(yù)熱時(shí)間：70ms，達(dá)到完整精度

美國(guó)ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器山西總經(jīng)銷 ALICAT質(zhì)量流量控制器說明書調(diào)試安裝工作條件

兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)狻⒀鯕狻⒁谎趸ǹ赏ㄟ^串行連接選擇氣體）；訂購(gòu)時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)（僅使用一種氣體）
工作溫度：0°C至+50°C
內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對(duì)于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對(duì)于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）

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