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PFA花籃
PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍(lán) ，鐵氟龍卡匣 ， 鐵氟龍晶舟盒 ，鐵氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿)，主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門(mén)之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
二、參數(shù)
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名稱(chēng) |
規(guī)格 |
耐溫性 |
應(yīng)用 |
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PP Cassette
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2寸 |
-200~260℃ |
酸堿傳輸制程 |
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4寸 |
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6寸 |
三、特點(diǎn)
1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿
2.搭配可活動(dòng)把手，用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無(wú)關(guān)；
5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無(wú)污染
7.化學(xué)性能穩(wěn)定
公司擁有三十多年PFA制品生產(chǎn)加工經(jīng)驗(yàn)，公司投入大量人力、物力致力于太陽(yáng)能光伏相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)，截止目前，公司推出的光伏用--太陽(yáng)能硅片花籃，太陽(yáng)能硅片承載器,硅片花藍(lán),,半導(dǎo)體清洗花籃。
南京濱正紅儀器有限公司
夏晴晴
