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CEMS的測量結果的另外一個重要作用是分析脫硫、脫硝設備的效率。通過實時對脫硫、脫硝設備的進出口內煙氣成分的進行監測比對，可以有效判斷出脫硫、脫硝設備的運行情況。同時，通過對進口的流量監測，可以準確計算出進入脫硫、脫硝設備的SO2的總量及NOx的總量，將這一信息及時傳送到脫硫、脫硝設備的DCS，控制注入的劑量，使脫硫、脫硝設備的效率zui大化。
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