.jpg "雙靶磁控濺射儀VTC-600-2HD體積小操作簡便高真空鍍膜設備")
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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 添時 | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 功率 | 900WW | ||
| 重量 | 160kgkg | ||
| 產品名稱 | 雙靶磁控濺射儀 | ||
| 產品類型 | 高真空鍍膜設備 | ||
| 電源電壓 | 220V 50Hz | ||
| 優點 | 體積小便于操作 | ||
| 特點 | 配置兩個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜 | ||
| 腔體內徑 | ?300mm | ||
| 極限真空度 | 9.0×10-4Pa | ||
| 樣品臺加熱溫度 | RT-500℃，精度±1℃（可根據實際需要提升溫度） | ||
| 靶槍數量 | 2個（可選配其他數量） | ||
| 靶槍冷卻方式 | 水冷 | ||
| 靶材尺寸 | ?2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質不同厚度有所不同） | ||
| 工作氣體 | Ar等惰性氣體 | ||
| 主機尺寸 | 500mm×560mm×660mm | ||
| 整機尺寸 | 1300mm×660mm×1200mm | ||
| 真空室規格 | φ300×300mm | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | VTC-600-2HD | ||
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