.jpg "德國(guó)蔡司ORIONNanoFab納米級(jí)離子束顯微鏡0.5納米成像分辨率")
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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 臺(tái)式 | ||
| 型號(hào) | NanoFab | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 高精度 | 10nm | ||
| 離子束 | 鎵、氖及氦離子束切換 | ||
| 成像分辨率 | 0.5nm | ||
| 景深 | 5-10倍 | ||
| 掃描圖形發(fā)生器 | 16位 | ||
| 軟件功能 | 圖形化用戶界面（GUI） | ||
| 品牌 | 德國(guó)蔡司 | ||
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