商鋪名稱：上海鑫有研電子科技有限公司
聯系人：陳經理（先生）
聯系手機：
固定電話：
企業郵箱：siyouyen@sina.com
聯系地址：上海市楊浦區寧國路313號龍澤大廈9號906室
郵編：200090
聯系我時，請說是在焊材網上看到的，謝謝！
| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 硅片晶圓曝光機URE-2000/35 品牌 | 鑫有研SIYOUYEN | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
.jpg)
紫外曝光機
型號：URE-2000/35
簡單介紹：曝光機：(英文名：Mask ALIGENER)又名光刻機, 該型號光刻機創新采用三柔性支點實現高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制；采用創新技術積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明；可連續設定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
一．技術特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）和高校教學科研（可靠性好，演示方便）采用創新技術——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應和實現均勻照明；
1、采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調平精度均高；
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達500μm；
