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LF400
SERIES
概要
LF400系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
可應用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
產品系列完整，可選擇數字式、模擬式、普通、高精度、高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。
特點
o 模擬式熱質式流量計/流量控制器：
- 環境溫度補正
- 可應用的流率范圍廣：
- 0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM
- 0～1、2、3、5、10、15、20、30SLM
o 高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
o 可選用LF系列控制模塊，具有數位顯示、電源供應、流量設定等功能
o 國際兼容
應用
o 工業設施的氣體供應監測/控制。
o 氣體分析設備。
o 固定氣體流量控制。
o 氣體混合或分離設備
標準 氣體質量流量用氮氣(N2)標定。
標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
輸入輸出
輸入設定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
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低價格，高性能 LF400 模擬式系列 熱式質量流量計/流量控制器 |
(高精度型)
型號
|
LF400-A |
□ |
□ |
－ |
□□□ |
－ |
□□□ |
－ |
□ |
□ |
□ | |||
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型式 |
A |
模擬式 | |||||||||||
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D |
數字式 | ||||||||||||
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功能 |
|
M |
流量計 | ||||||||||
|
C |
流量控制器 | ||||||||||||
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流量范圍 |
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ABC |
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氣體種類 |
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013 |
N2 | ||||||||||
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008 |
Air | ||||||||||||
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015 |
O2 | ||||||||||||
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004 |
Ar | ||||||||||||
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025 |
CO2 | ||||||||||||
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001 |
He | ||||||||||||
|
FFF |
其他 | ||||||||||||
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接頭 |
1/4"VCR |
1 |
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|
1/2"VCR |
2 | ||||||||||||
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3 mm SWL |
3 | ||||||||||||
|
6 mm SWL |
4 | ||||||||||||
|
其他 |
F | ||||||||||||
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訊號 |
DC 0~5V |
1 |
| ||||||||||
|
其他 |
2 | ||||||||||||
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電源 |
DC+/-15V |
1 | |||||||||||
流量范圍是以mL/min，L/min 為單位
例：
5mL/min 表示為005
500mL/min表示為500
50 L/min(nor) 表示為50L
規格 (熱式) :
尺寸/定義圖：
