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膜厚測量儀 產 品 說 明 薄膜測量 薄膜厚度 新澤西Salt Point公司開發的薄膜監測系統(TDS)，在寬帶溶解率監測儀(DRM)中集成了一套海洋光學多通道光譜儀，用來分析半導體和光學工業中使用的超薄的抗蝕膜。 DRM幫助客戶確定膜層的厚度以及應用抗蝕膜后的材料溶解速率這都是控制薄膜生產工藝的重要參數。在初始化測試中，薄膜監測解決方案主要針對膜厚<300nm的應用，相對而言，傳統的單色和多色干涉測量方法在該測量應用中的效果較差。在測試中，TDS采用了一個SD2000雙通道光譜儀，通過一個R系列反射探頭來實現反射式測量。 TDS在其網站上的報告中的結果顯示了多波長DRM系統能夠在離散的時間間隔內測定薄膜厚度，傳統的DRM系統要監測光阻材料比較困難，并且，通過免去了對離散的靜態的光學厚度測量工具的需求，也給研究者提供了相應附加值。 目前，TDS提供了1-, 2-, 4- 和8-通道的配置。TDS最近正好發布了它的L系列DRM產品線，新產品可以用于光阻材料的研發，配方研究，光阻材料生產的質量控制，以及聚合樹脂生產的質量控制。L系列產品線包括多波長和多層分析算法，實現對零度薄膜的離散厚度測量，并且提供非線性溶解速率現象的準確數據。更詳細的信息請訪問：www.thicknessdetection.com. 概要 附著在基底上的薄膜就如同一個標準具，當觀察其表面的反射率時會看到一幅干涉條紋圖樣。當組合不同折射率的材料時，條紋間隔的正弦曲線分布可以用來計算此薄膜的厚度。 光譜儀 USB4000-VIS-NIR (350-1000nm)適合用于薄膜的反射測量。光譜儀預先配置了#3光柵，它的閃耀波長在500nm；一個OFLV-350-1000濾光片可以屏蔽二級和三級衍射效應；以及一個25μm 狹縫，可以得到~1.5nm (FWHM)的光學分辨率。 取樣光學元件 R400-7-VIS/NIR反射式探頭，90°測量薄膜表面的鏡面反射。再加上一個LS-1鹵鎢燈光源和一個STANSSH高反射率鏡面反射標準參考，組成一套取樣配置。 測量 從海洋光學的操作軟件中(見上圖)可以觀察到由薄膜基底的膜層產生的干涉光譜。分析最大值和最小值處的波長可以確定薄膜的厚度(已知薄膜的折射率)或者確定它的折射率(已知薄膜的厚度)。需要注意的是，樣本的厚度可能不是均勻的；建議測量薄膜的多個位置點
【激光系列產品】
固體激光器 半導體激光器 氣體激光器 氬離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計 激光護目鏡 激光波長測量 激光光束分析儀 多通道激光功率計 大功率激光器 激光光束位置測量儀 激光擴束鏡 激光準直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩定性激光器 相干型激光器 自相關儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測量 熱電制冷片 激光光束定位系統 視頻顯微鏡測量系統 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計 飛秒激光脈沖自相關儀 激光二極管參數分析儀 激光二極管電流控制器
【光譜測試儀器】
光纖光譜儀 微型光纖光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學型光譜儀 LED光測量光譜儀 色坐標色溫測量儀 燈具光譜測量儀 透射譜吸光度光譜儀 絕對輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測量儀 橢偏儀 太陽能電池IPCE測量系統 太陽能電池QE測量系統 太陽能電池光譜響應系統 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測量 信號發生器 近紅外谷物接收系統 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀 微型光譜儀
【光學精密機械】
干涉儀 光學平臺 光學鏡架 手動平移臺 手動旋轉臺 手動擺動臺 手動組合平臺 電動平移臺 電動轉動臺 電動擺動平臺 電動組合平臺 壓電陶瓷平臺 壓電陶瓷制動器 高穩定防震平臺
【光源】
氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 鹵素燈光源 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽模擬器 紫外固化機 寬帶超連續光源 顯微鏡光源
【光學影像】
紫外CCD相機 近紅外CCD相機 制冷型CCD相機 高速相機 夜視儀 顯微鏡 CID相機 熱像儀
【探測器】
照度計 亮度計 輻射計 便攜式色差計 太陽光功率計 快速反應探測器 前置放大探測器 光纖耦合探測器 液氮制冷探測器 皮秒超快探測器 位敏探測器 四象限探測器 雙色探測器 紫外輻照計 硅光電探測器 近紅外探測器 中紅外探測器 雪崩二極管 光電倍增管
【光學元件】
窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長板 擴散板 起偏器 光學鏡頭 光纖產品 光柵尺 紅外鏡頭 光柵
【光通信儀器】
ASE光源 光接收機 光纖放大器 光發射機 光通信激光器 光功率計 可調諧激光光源 光纖測量系統 光衰減器 光纖熔接機 光通信探測器 光調制器 傳感器解調儀 SLED光源 SLED模塊 多波段SLED光源 大功率EDFA 光收發機 激光發射機 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器 保偏EDFA 摻鐿光纖放大器 摻鐿光纖放大器模塊 半導體光放大器 大功率光纖放大器 光接收機模塊 半導體光放大器模塊 40通道多路復用器 1064nm穩定的激光器光源 DWDM多路復用器 FBG光纖耦合激光器光源 FBG激光光源模塊 波長掃描激光器 單模背射儀 電控可變光衰減器 多波長儀 多通道可變光衰減器 光波元器件分析儀 光放大器分析儀 光網絡測試儀 光網絡分析儀 光纖干涉儀 回波損耗儀系統 可調諧光濾波器 色散補償模塊 微型光時域反射儀 蝶形激光器/DFB激光器 大功率蝶形激光器 寬帶RF放大器模塊 寬帶RF放大器 DFB蝶形激光器 DFB激光器模塊 DWDM光分插模塊 980nm泵浦激光器 ASE光源模塊 C＋L波段ASE光源 CWDM 2mW DFB激光器 F-P激光器 保偏隔離器 大功率保偏隔離器 大功率光隔離器 光隔離器 光開關模塊 可調諧C波段激光器 外調制激光器 拉曼放大器泵浦激光器/EDFA泵浦激光器 便攜式光時域反射儀
【生物分析儀器】
動物注射泵 樣品均質器 粘合劑分配器 蠕動泵 搖擺振蕩器 細胞分離/勻漿漩渦混合器
