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SZT-2000型數字式四探針測試儀SZT-2000型

SZT-2000型數字式四探針測試儀是根據四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料質量監測的必需儀器。

　　儀器為臺式結構，分為電氣箱、測試架兩大部分，用戶可以根據測試需要安放在一般工作臺或者專用工作臺上，測試架由探頭及壓力傳動機構、樣品架組成，耐磨和使用壽命長的特點。探頭內設有彈簧壓力裝置，壓力從0—2Kg連續可調，測試架設有手動和電動兩種裝置供用戶選購。

儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數字電壓表和高穩定的恒流源組成，測量結果由數字直接顯示，儀器有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進行校驗。

　　儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、測量范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點，儀器適用于半導體材料廠、器件廠、科學研究部門、高等院校，對半導體材料的電阻性能測試及工藝檢測。

儀器主要技術指標：

　　1．范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105Ω—cm，分辯率為10-6Ω—cm

         方塊電阻10-3—103Ω /□

         電阻10-6—105Ω

　　2．可測半導體尺寸：直徑Φ15—150mm

　　3．測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架）

　　4．數字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

  (2)測量誤差 0.2mV檔±（0.3%讀數+8字）

              2 mV檔以上±（0.3%讀數+2字）

  (3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω

              20mV檔以上>108Ω

  (4)顯示3 1/2位數字顯示，0—1999

具有極性和過載自動顯示，小數點、單位自動顯示

　　5．恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA連續可調，由交流電源供給

   （2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔

   （3）電流誤差：±（0.3%讀數+2字）

　　6．四探針測試探頭  （1）探頭間距：1mm   (2)探針機械游率：±0.3%

                   (3) 探針：Φ0.5mm    (4)壓力：可調

　　7．測試架：

  （1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。

  （2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操作，設有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S可調，探頭下降時間1S—99S可調，壓力恒定可調（由砝碼來設定）同時設有腳踏控制裝置由腳踏開關控制探頭上下運動。

　　8．電流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W

　　9．外形尺寸：電氣箱130×110×400mm