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電感耦合等離子體質譜儀 (簡稱ICP-MS），是20世紀80年代發展起來的一種新的微量（10^-6）、痕量（10^-9）和超痕量（10^-12）元素分析技術。可測定元素周期表中大部分元素，極低的檢出限、極寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、精密度高、分析速度快、可提供同位素分析。

性能優勢

1、分析速度快、操作簡單、靈敏度高、背景噪音低、消除干擾效果更佳、維護方便。
2、一鍵式等離子體設置使得等離子體的優化更為簡便具有極好的重現性。
3、先進等離子體屏蔽技術，極大地提高儀器的靈敏度，改善低質量數元素的檢出限，達到ppt水平。
4、具有獨特的活動接口門結構，可在真空下替換和裝卸采樣錐與截取錐，便于日常維護。
5、全新六級桿碰撞反應池，提高離子傳輸效率和消除多原子離子干擾能力。
6、無需數/模切換，由計算機全自動設定和控制，實現9個數量級的濃度動態范圍。
7、新型真空腔體結構，無任何導線連接，各個組件采用不對稱安裝和插入式安裝。

軟件優勢

ICP-MS2000提供最便捷的操作軟件，非常直觀，全面。軟件囊括了目前所有分析方法，包括特殊的同位素比值和同位素稀釋法。
智能選擇方法、智能儀器調諧、QC質量控制、多種分析方法組合功能、序列分析、自動監測功能、自定義報告格式。

儀器配置

進樣系統：敞開式進樣系統結構，使用外部安裝的霧化器，自我定位，無需調整。
蠕動泵：計算機控制3通道12滾軸低脈沖蠕動進樣泵，轉速可調。
霧化器：石英玻璃同心霧化器(0.8 mL/min)。
霧化室：小體積，低記憶效應，采用半導體制冷裝置高純石英霧化室，單通道梨型帶撞擊球。
炬管：整體型石英炬管，1.5 mm口徑噴射。
ICP源：27.12 MHz固態技術，水冷，最大功率1600 W。計算機控制功率，自動點火與熄火。
炬位調整系統：計算機全面控制x、y、z三維炬管精確位置，所有調整參數存入分析方法內。
氣體控制系統：3個計算機控制的質量流量計，用于霧化氣，輔助氣，等離子體氣的全部氣流量控制。
斷電保護系統：在意外停電發生時，安全自行關機，而不損壞儀器系統。
接口：鎳錐，具有獨特的活動接口門結構，易于替換和裝卸采樣錐與截取錐。
活動閥門：計算機控制閥門，保護儀器真空，便于在真空系統工作時拆裝和清洗采樣錐和截取錐。
離子透鏡系統：配有高效率六極桿離子導向系統，在全質量范圍內獲得最佳的離子傳輸效率，全自動的離子聚焦調諧過程，真空室內的透鏡使用非對稱安裝，方便拆裝定位。
四極桿特征：鉬四極桿，主極桿180 mm×12 mm，預四級桿20 mm×12 mm，開蓋即可安裝，拆裝。
四極桿RF發生器：風冷2.0 MHz，質量軸穩定性<0.05 amu/day。
質譜范圍：2~255 amu。
檢測器：ETP雙模式檢測器，分成兩部分分列打拿極電子倍增器，無需數/模切換。
測量范圍：>108
多通道信號分析器：65000道多通道信號分析器，適應瞬間信號分析要求。
信號采集模式：跳峰，掃描，分段掃描，同時跳峰和掃描混合型。
軟件：提供自動控制儀器及其附件的能力，Windows 2000/XP/vista/win7(32位或64位)專業操作系統。
水循環系統：溫度控制：10~40℃；最小流速：5升/分鐘，壓力控制：0~600 kPa。

技術參數

質量數量范圍：2~255 amu
測量范圍：≥108
靈敏度： Be≥2×106 ； In≥35×106 ； U≥30×106 單位（cps/mg/L）
檢出限： Be≤10；In ≤2；U≤2 單位（ng/L）
分辨率：0.6~0.8 amu
信噪比：≥50×106
背景噪音：≤2 cps（全質量范圍）
質量軸穩定性：≤0.05 amu/24 h
穩定性RSD： 短期≤3%；長期≤4%
氧化物離子：CeO+/Ce+≤3%
雙價離子：69Ba2+/138Ba+ ≤3%
同位素比：（107Ag/109Ag）≤0.3%
豐度靈敏度：≤1×10-6低質量端；≤5×10-7高質量端

應用領域

1、環境領域：飲用水、海水、環境水資源食品、衛生防疫、商檢等。
2、半導體領域：高純金屬，高純試劑，Si 晶片的超痕量雜質，光刻膠等。
3、醫藥及生理分析領域：頭發、全血、血清、尿樣、生物組織等醫藥研究，特別是全血鉛的測定。
4、核工業領域：核燃料的放射性同位素的分析，初級冷卻水的污染分析等。
5、其他領域：如化工，石化、地質等。