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臭氧在水中溶解度為氧氣的lO倍，其氧化能力比氧氣、氯氣、等都高，并且臭氧易分解，多余臭氧不會產生二次污染。但受限于制取臭氧的設備造價昂貴，電耗高，因此臭氧法運行成本也較高。鐵炭氧化法又叫微電解法，鐵炭微電解是利用金屬腐蝕原理，形成原電池對廢水進行處理的工藝，又稱內電解法、鐵屑過濾法、等。它是在不通電的情況下，利用填充在廢水中的微電解材料自身產生1.2v電位差對廢水進行電解處理，以達到降解有機污染物的目的。
