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目前由于臭氧/生物活性炭工藝在去除水源中消毒副產物前質、降解水中各種穩定化學污染物、破壞產生異嗅異味物質的分子結構以及有效滅活水中各類病原微生物等方面具有較好的效果，再加上其工藝相對比較簡單、經濟，所以在飲用水深度處理中得到比較廣泛的應用。不過需要指出的是，臭氧生物活性炭工藝也存在明顯的不足。單獨的臭氧氧化對一些穩定性的農藥類物質、有機鹵代物的分解效率很低，這時，往往需要使用高級氧化技術（如臭氧/過氧化氫技術）等。
