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它是利用短波長紫外線以及氧基氧化劑，如O3和H2O2等，在紫外光照射下，將VOCs轉化成CO2和H2O。紫外光由低壓輝光放電(汞燈)，或者高壓低溫等離子體產生。在這種間接等離子體工藝中，紫外光起到催化劑的作用。發射管效率低以及停留時間長是這種方法的主要障礙。現在通過結合管催化劑如TiO2，FexOy等，這些方面已得到改善。不足之處是熱力發生以及要求停留時間較長，而這又影響到去除率。并且，副產物可能會覆蓋于反應器表面，對表面光催化反應產生影響。
