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催化燃燒的技術性較強，在選擇催化溫度前，必須了解有機廢氣中的有機成分，否則很容易造成不完全氧化，使有機溶劑的微粒吸附在催化劑載體表面，久而久之，使催化劑的活性下降，影響凈化率。其實，只要控制得當，這種現象完全可以避免。用于催化燃燒的催化劑，以貴金屬Pt、Pd多，還有稀土金屬催化劑。紫外線-臭氧法紫外線-臭氧法的優點是，氧化過程中不產生CO和NOx，而且可以同時除去漆霧顆粒和有機溶劑，但其缺點是設備復雜、生產臭氧的成本高、需要處理吸收用水，而且不適合廢氣排量大的場合。
