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目前，該方法因降解效率不高而處于研究開發階段，研究重點在于探索反應器，提高并充分利用催化劑的活性。2等離子體凈化等離子體被稱為物質的第4種形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成，為導電性流體，總體上保持電中性。按照離子溫度的不同，可分為平衡等離子體和非平衡等離子體。近年來發展起來的非平衡等離子體技術，具有工藝簡單、效率高、能耗低、適用范圍廣等優點。它是通過高電壓放電形式，產生大量的高能電子或高能電子激勵產生的O、ON基等活性粒子，破壞VOCs分子中的C-C=C或C-C等化學鍵，使其中的CF等發生置換反應。
