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主要的反應如下：NO+O3NO2+O22NO2+O3N2O5+O2N2O5+H2O2HNO3煙氣處理流程見下圖。采用LoTOx技術可得到較高的NOX脫除率，典型的脫除范圍為7%～9%，甚至可達到95%，并且可在不同的NOX濃度和NO、NO2的比例下保持率；由于未與NOX反應的O3會在洗滌器內被除往，所以不存在類似SCR中O3的泄漏題目；除以上優點外，該技術應用中SO2和CO的存在不影響NOX的往除，而LoTOx也不影響其他污染物控制技術。
