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此方法具有反應效率高、反應條件無需加熱加壓、能選擇性去除和能耗低的優點，但現在此技術僅限于實驗室反應系統，尚未未大批量工業化生產應用。溫等離子法低溫等離子法是在外加電壓作用下，利用擊穿氣體產生的高能性粒子與污染物分子發生一系列的復雜等離子體物化反應，使污染物分子發生分解，從而將有機污染物降解為無毒無害的物質。低溫等離子法與常規技術相比，具有常溫常壓下反應、工藝簡單、操作流程簡便、有效處理低濃度有機廢氣的特點，由于初始投入大，目前該技術尚未有效推廣。分離法膜分離法利用氣體各組分通過半透性高分子聚合膜的速度不同的原理，將有機廢氣從膜中穿過，有機組分和空氣分子通透能力不同而分離的方法。此方法適合高濃度有機廢氣的分離和回收處理，具有方法簡單、能耗低、無二次污染的優點。物法生物法是利用微生物以有機廢氣中的有機組分為能源和養分，經歷復雜的代謝降解過程，分解為二氧化碳、水及細胞組成物質的方法。過程復雜，大概分為三個過程：利用氣液兩相間有機物濃度梯度、有機物水溶性和微生物吸附性，污染物由氣體傳質到液相(固體表面液膜)；污染物通過擴散和對流從液膜表面進入到生物膜中；微生物將污染物氧化分解。
