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主要特性：

• 測量參數：R（直流電阻）、I（直流電流）、ps（表面電阻率），pv（體電阻率）。
• 測量范圍：電阻1*10³Ω至1.6x10¹⁶Ω；電流60fA至100uA。
• 基本測量精度：0.6%。
• 測量速度：最快10 ms測量時間。
• 測試序列程序：控制一系列電阻測量。充電時間、測量間隔時間和測量次數可以編程。
• 接觸檢查功能：可以檢測測試夾具與器件之間的接觸故障，附加時間2ms。
• 穩定的測試夾具：比電阻盒、元件測試夾具。
• 計算電阻率。
• 通過GPIB借口控制設置。
• 規格
  測量參數：R（直流電阻），I（直流電流），ps（表面電阻率），pv（體電阻率）
  數學功能：偏差和百分偏差
  顯示數字：3，4或5位（可選擇）
  測試電壓：0.1 ～ 1000Vdc
  　　　　　0.1 ～ 200Vdc時，以0.1V步進
  　　　　　0.1 ～ 1000Vdc時，以1V步進
  電壓精度：≤200V時為0.16％+100mV
  　　　　　＞200V時為0.16％+500mV
  最大電流：≤100V時為10mA；≤250V時為5mA
  　　　　　≤500V時為2mA；≤1000V時為1mA
  電流相容性調定：0.5mA,1mA,2mA,5mA,10mA
  輸出電阻：1KΩ±10％
  輸入電阻：1KΩ±10％
  測試電纜長度：2 m　（最大值）
  測量范圍和精度：
  直流電流：60fA～100uA 基本精度：±0.4％
  直流電阻：1×103 ～1.6×1016Ω　基本精度：±0.6％
  測量時間：短：10ms；中：30ms；長：390ms