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BOE腐蝕機(jī)

BOE腐蝕機(jī)

產(chǎn)品價(jià)格：￥（人民幣）

規(guī)格：00001

發(fā)貨地：江蘇南通市

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江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

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認(rèn)證類型：企業(yè)認(rèn)證

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商品詳情

本發(fā)明公開一種BOE腐蝕的工藝方法，在光刻工藝的刻蝕過程中，通過將硅片在酸液中上下運(yùn)動(dòng)后減少腐蝕過程中依附在硅片上的氣泡量，然后把片架整體提出液面1S，通過壓力的快速變化，使依附在硅片上的氣泡易于破碎，最后再將硅片放入酸液中繼續(xù)上下運(yùn)動(dòng)，循環(huán)腐蝕12min，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的腐蝕，同時(shí)，本發(fā)明中是通過BOE腐蝕槽來對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕，通過使腐蝕液循環(huán)流動(dòng)，保持在腐蝕過程中內(nèi)槽內(nèi)各位置腐蝕液的濃度保持一致，同時(shí)，流動(dòng)的腐蝕液能夠?qū)⒁栏皆诠杵系臍馀萃耆虼蟛糠秩コ嵘杵g的一致性，降低腐蝕過程中生成的氣泡對(duì)腐蝕效果的影響。

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