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真空發生器 真空發生器 ZM 系列 特點 ZM ·閥·開關已單元化 ·可以集裝 ·最大吸收流量增大40％ ·最高真空壓力-84kPa 帶電子式延時器的真空發生器 ZMA 系列 特點 ZMA ·配有破壞閥控制用的電子式延時功能 ·開關和閥的電源共用及吸著信號的串行傳送可用1根線 ·延時時間的調節容易 真空發生器 ZH 系列 特點 ZH ·噴嘴口徑φ0.5、φ0.7、φ1.0、φ1.3、φ1.5、φ1.8、φ2.0 ·噴嘴和器體是一體成形樹脂 ·盒型和直接配管型2種形式已系列化 直通式真空發生器 ZU 系列 特點 ZU ·真空口和供氣口在一直線上，故配管容易 ·采用樹脂器體，故輕， 噴嘴口徑φ0.5:6.5g φ0.7:7.0g ·內置快換接頭（無銅離子） 多級真空發生器 ZL 系列 特點 ZL112 ·采用3級擴壓段，故吸入流量增加 ·可選擇數字式真空壓力開關及真空壓力表等功能 ZL212 真空發生器與電磁閥組合元件 ZYY/ZYX 系列 特點 ZYY ·適合真空吸著系統的真空發生器·閥組件 ZYX 薄型真空組件 ZQ 系列 特點 ZQ ·單體寬10mm，質量83g，帶真空壓力開關及真空過濾器。 ·快換接頭連接 ·可用于真空發生器系統及真空泵系統