Impedans射頻異常打火檢測器Alfven 100
品牌：Impedans
型號：Alfven 100
精確的射頻等離子體異常打火檢測和全面的射頻脈沖監控
公司介紹：
Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務商，主要提供用于射頻和等離子過程監控的智能傳感平臺。其服務涵蓋多個領域，包括半導體、真空鍍膜、醫療器械、硬盤和航空航天等。
Impedans的技術優勢在于其先進的測量方法和高精度的數據采集能力，這使得其在等離子體處理領域具有較高的市場競爭力。通過提供高質量的傳感器和測量設備，Impedans在多個工業領域中贏得了良好的聲譽。
產品介紹：
Alfven 100是一款先進的、集射頻等離子異常打火檢測和射頻脈沖監控為一體的診斷儀器，它能夠以1微秒的分辨率實時處理射頻信號。
該儀器被設計用來檢測和表征射頻等離子體異常打火現象，同時可監測每一個射頻脈沖信號，以檢查是否每個脈沖信號都符合設定值。
等離子體異常打火和失效脈沖可能導致晶圓缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和7×24小時監控的必要工具。
主要功能：
1μs采樣分辨率，同時監測異常打火和脈沖信號(可調噪聲過濾)。
可配置異常打火類型和失效脈沖信號類型。
監控每個脈沖的有效時間、脈沖頻率和占空比。
報告用戶設置的偏離限制的具體值。
“開關”和“高低”脈沖監控（可多達三級）。
監控脈沖期間可報告最大、最小和平均電壓電流值。
“快照”功能查看在給定時間內的脈沖輪廓。
可設置配方，命令儀器自動調整設置，以同步監測復雜多步的等離子體過程。
主要優勢和應用：
可快速確定是否由打火或失效脈沖導致的晶圓缺陷的原因。
脈沖“快照”功能可替代定向耦合器-示波器。
監控每個工藝步驟配方的平均脈沖頻率和占空比。
實時監控每個工藝步驟的異常打火次數。
按要求進行微妙數據的實時報告。
軟件通訊中斷時儀器主板可暫時儲存數據。
可生成摘要報告，方便后續查看。
