Impedans射頻功率計Octiv Poly 2.0
品牌：Impedans
型號：Octiv Poly 2.0
公司介紹：
Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務商，主要提供用于射頻和等離子過程監控的智能傳感平臺。其服務涵蓋多個領域，包括半導體、真空鍍膜、醫療器械、硬盤和航空航天等。
Impedans的技術優勢在于其先進的測量方法和高精度的數據采集能力，這使得其在等離子體處理領域具有較高的市場競爭力。通過提供高質量的傳感器和測量設備，Impedans在多個工業領域中贏得了良好的聲譽。
產品介紹：
Octiv Poly 2.0 VI探頭是一款多頻在線射頻電壓、電流和相位測量系統，支持網絡通信（可提供以太網Web服務協議、EtherNet/IP或EtherCAT）。該系統具有1%的準確度，能夠可靠地實現腔室間匹配和過程重復性。其獨特便捷的外形設計，便于進行改造以匹配機箱輸出，從而方便直接進行等離子體監測。借助這種先進的VI探頭技術，可以消除產品報廢事件、端點檢測錯誤和不必要的預防性維護等問題。
主要特點
單個傳感器可選擇5個頻率，每個頻率下最多有15個諧波。
通過我們先進的校準方法，在50Ω和非50Ω負載阻抗中具有無*比的功率精度（1%的真實精度）。
傳感器運行重復性（<0.1%），能夠真實測量等離子體過程漂移。
實時史密斯圓圖視圖，阻抗精度與離線矢量網絡分析儀相當。
頻率跟蹤標準為基頻的±10%，可定制用于互調頻率監測。
卓越的脈沖射頻能力，具有實時脈沖頻率和占空比監測以及“時間分辨”模式。
USB、以太網、EtherCAT和串行通信協議，具有易于使用的API進行集成。
主要優勢和應用
使用等離子體阻抗監測（PIM）和諧波譜技術清潔和蝕刻端點功能。
證明了對<1%開口面積比的蝕刻終點的檢測，與多元OES終點檢測器相比，具有更高的靈敏度。
檢測晶圓放置問題、漏氣、跨工藝污染和許多其他常見的等離子體故障。
測量整個腔室的健康狀況，無需進行不必要的預防性維護。
通過實現故障檢測和早期干預，成本效益顯著。
相關型號：
Octiv Mono 2.0
Octiv Poly 2.0
Octiv Suite 2.0
