Impedans射頻功率計Octiv Poly 2.0
品牌：Impedans
型號：Octiv Poly 2.0
公司介紹：
Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務(wù)商，主要提供用于射頻和等離子過程監(jiān)控的智能傳感平臺。其服務(wù)涵蓋多個領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、真空鍍膜、醫(yī)療器械、硬盤和航空航天等。
Impedans的技術(shù)優(yōu)勢在于其先進(jìn)的測量方法和高精度的數(shù)據(jù)采集能力，這使得其在等離子體處理領(lǐng)域具有較高的市場競爭力。通過提供高質(zhì)量的傳感器和測量設(shè)備，Impedans在多個工業(yè)領(lǐng)域中贏得了良好的聲譽(yù)。
產(chǎn)品介紹：
Octiv Poly 2.0 VI探頭是一款多頻在線射頻電壓、電流和相位測量系統(tǒng)，支持網(wǎng)絡(luò)通信（可提供以太網(wǎng)Web服務(wù)協(xié)議、EtherNet/IP或EtherCAT）。該系統(tǒng)具有1%的準(zhǔn)確度，能夠可靠地實(shí)現(xiàn)腔室間匹配和過程重復(fù)性。其獨(dú)特便捷的外形設(shè)計，便于進(jìn)行改造以匹配機(jī)箱輸出，從而方便直接進(jìn)行等離子體監(jiān)測。借助這種先進(jìn)的VI探頭技術(shù)，可以消除產(chǎn)品報廢事件、端點(diǎn)檢測錯誤和不必要的預(yù)防性維護(hù)等問題。
主要特點(diǎn)
單個傳感器可選擇5個頻率，每個頻率下最多有15個諧波。
通過我們先進(jìn)的校準(zhǔn)方法，在50Ω和非50Ω負(fù)載阻抗中具有無*比的功率精度（1%的真實(shí)精度）。
傳感器運(yùn)行重復(fù)性（<0.1%），能夠真實(shí)測量等離子體過程漂移。
實(shí)時史密斯圓圖視圖，阻抗精度與離線矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀相當(dāng)。
頻率跟蹤標(biāo)準(zhǔn)為基頻的±10%，可定制用于互調(diào)頻率監(jiān)測。
卓越的脈沖射頻能力，具有實(shí)時脈沖頻率和占空比監(jiān)測以及“時間分辨”模式。
USB、以太網(wǎng)、EtherCAT和串行通信協(xié)議，具有易于使用的API進(jìn)行集成。
主要優(yōu)勢和應(yīng)用
使用等離子體阻抗監(jiān)測（PIM）和諧波譜技術(shù)清潔和蝕刻端點(diǎn)功能。
證明了對<1%開口面積比的蝕刻終點(diǎn)的檢測，與多元OES終點(diǎn)檢測器相比，具有更高的靈敏度。
檢測晶圓放置問題、漏氣、跨工藝污染和許多其他常見的等離子體故障。
測量整個腔室的健康狀況，無需進(jìn)行不必要的預(yù)防性維護(hù)。
通過實(shí)現(xiàn)故障檢測和早期干預(yù)，成本效益顯著。
相關(guān)型號：
Octiv Mono 2.0
Octiv Poly 2.0
Octiv Suite 2.0
