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超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
超純水系統設備通常由預處理部分，反滲透主機部分，后處理部分共同組成。
1、預處理由石英砂過濾器、活性碳過濾器、精密過濾器組成，也可選用超濾系統作為預處理，但通常工程造價要高。預處理主要目的是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質、懸浮物、色度、異味等。
2、反滲透主機主要由高壓泵、膜殼、反滲透膜元件，在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數量及泵的型號選型得當，反滲透主機脫鹽率及產水量都能達到額定指標，出水電導率可保證在≤10us以下，(原水電導率小于500us/cm,工作溫度：1～40℃)
3、后處理部分是對反滲透制取的純水作進一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設備或EDI設備，根據客戶要求，出水阻率可達到15MΩ.CM
